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电 机 类 型 和 技 术 特 点

DES系列是富田为客户一体化和模组化应用而设计的无轴承中空同步电机，具有孔径大、体积小、高扭矩、低脉动和高效率的特点

产 品 应 用 案 例

半导体晶圆刀轮切割设备
半导体晶圆刀轮切割设备

半导体晶圆激光改质切割设备
  半导体晶圆激光改质切割设备

碳化硅研磨设备
碳化硅研磨设备

技 术 规 范

DES产品概览_03

型 号 说 明

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顾 客 界 面

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进水参数
 。冷却介质： 55%乙二醇水溶液，粒子小于300um, 导电率小于10us/cm； 
 。最小冷却水流量：12~20L/min；
 。最小冷却水流量下压差：0.27bar；
 。水压最大耐压值: 0.5MPa;

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DES09

技术参数
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特性曲线图
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电机外形图
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DES11

技术参数
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特性曲线图
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电机外形图
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DES16

技术参数
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特性曲线图
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电机外形图
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DES21

技术参数
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特性曲线图
DES产品概览_11
电机外形图
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